Talysurf CCI三维形貌仪非接触轮廓仪

• 更新时间：2021-04-13
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Talysurf CCI三维形貌仪非接触轮廓仪
Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI干涉原理，可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸，并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件，半导体器件，光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。

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Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI干涉原理，可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸，并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件，半导体器件，光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。CCI2000 采用了良好的白光干涉技术。创新的**相关相干算法，通过建立模板，能够计算出带光源相干峰与相位的位置。无论是抛光表面还是粗糙表面，只要反射率超过 0.5%，就能够被检测。在非接触表面三维测量中，CCI2000以100μm范围内0.1nm的高分辨带来不凡的立体成像效果。

高精度、低噪音、百万数据点、数字技术，泰勒霍普森公司白光干涉仪的问世，宣告着微 观世界表面三维形貌时代到来。对于光学、半导体、微纳米机械、汽车、医药、轴承等工业 而言，如果您需要非接触的方法来检测物体的三维表面形貌、表面粗糙度、台阶高度、微观 三维尺寸，CCI2000 提供了完美的侧向精度、纳米级的分辨率、非接触测量、三维形貌显示， 是您理想的选择。每当需要进行非接触式高精度计量的理想方法来进行粗糙度，台阶高度或微观尺寸测量时，泰勒·霍普森（Taylor Hobson）都能提供您期望的结果。 Talysurf CCI 2000具有宽的横向范围和埃分辨率，可为光学，MEMS，半导体，汽车，医疗和轴承行业的研究和制造提供无损3D测量。

数据分析工具 

。 以新参数定义的二维及三维数据显示。 
。 面积与体积参数 
。 二维参数 120 个 
。 三维参数 40 个 
。 数据处理 
。 自动的台阶高度计算

可溯源的结果

。 我们采用可以溯源的样块，对侧面方向与垂直方向进行标定。 
。 对于我们所测量的几何的，空间的各种数据，都可以得到认证。

关键特性：

1.0Å垂直分辨率
2.0Å底噪
1,000,000个数据点
0.1ÅRMS重复精度
0.1％步重复性