MAHR粗糙度仪通常是由传感器、驱动器、指零表、记录器和电感传感器等部件组成，在传感器测杆的一端装有金刚石触针，触针尖曲率半径r很小，测量时将触针搭在工件上，与被测表面垂直接触，利用驱动器以一定的速度拖动传感器。由于被测表面轮廓峰谷起伏，触状在被测表面滑行时，将产生上下移动。此运动经支点使磁芯同步地上下运动，从而使包围在磁芯外面的两个差动电感线圈的电感量发生变化。