所有的電磁測量法都是通過比較的方法。也就是將測量信號與存儲在設(shè)備中的特征曲線進(jìn)行比較。為了得到正確的結(jié)果，特征曲線必須與當(dāng)前條件相匹配，可通過校準(zhǔn)來實現(xiàn)。 

影響測量結(jié)果的重要因素包括：鍍層的電阻率、樣品的形狀以及表面的粗糙度。此外，操作人也會影響測量結(jié)果。

除了鍍層的厚度，銅的電阻率也會影響探針之間的電勢差。電阻的變化取決于的合金材料的不同以及其加工方式，溫度也會引起其電阻的變化。這可能需要進(jìn)行溫度補(bǔ)償，或在相同的測量環(huán)境條件下進(jìn)行校準(zhǔn)。

在非常小的樣品中，電場的分布與大面積樣品中的分布不同，這種偏差導(dǎo)致了涂層厚度測量的系統(tǒng)誤差。因此，對于小樣品而言，需要特殊規(guī)格的探頭，或者探針距樣品的邊緣有最小距離的要求。

最后重要一點，儀器的操作方式也是一個主要的影響因素。確保探頭始終垂直接觸被測面，且不受外力。為了獲得更準(zhǔn)確的測量值，還可以借助測量臺來使探頭自動接觸樣品。